Halfgeleierwafervervoer
Oplossingskenmerke
(Voordele van samewerkende robotte in halfgeleierwafervervoer)
Verwante Produkte
-
-
- Maks. Vrag: 16 kg
- Bereik: 900 mm
- Tipiese spoed: 1.1 m/s
- Maks. Spoed: 4m/s
- Herhaalbaarheid: ± 0.1 mm
-
-
-
- Maks. Laaivermoë: 1000 kg
- Omvattende batterylewe: 6 uur
- Posisioneringsakkuraatheid: ±5, ±0.5mm
- Rotasiediameter: 1344 mm
- Ryspoed: ≤1.67m/s
-
-
-
-
- Grypkrag: 3~5.5N
- Aanbevole werkstukgewig: 0.05 kg
- Slag: 5mm
- Oopmaak-/sluittyd: 0.03s
- IP-klas: IP40
-
-